台积电据悉年底前从ASML接收首批高NA EUV光刻机
导读
台积电将于今年年底前从荷兰光刻机制造商阿斯麦(ASML)接收首批最新的高数值孔径极紫外(高NA EUV)光刻机。这批机器每台成本约为5亿...
台积电将于今年年底前从荷兰光刻机制造商阿斯麦(ASML)接收首批最新的高数值孔径极紫外(高NA EUV)光刻机。这批机器每台成本约为5亿美元,将用于生产下一代半导体。(日经新闻)
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